光刻机作为芯片制造最核心的设备，如果没有光刻机，芯片制造就是纸上谈兵。缺乏先进光刻机就是目前大陆芯片制造发展面临最大的挑战，此前光刻机采购也屡屡受阻。
 
不过，全球光刻机巨头阿斯麦ASML全球副总裁、中国区总裁沈波近日接受采访时表示，对中国出口集成电路光刻机持开放态度，在法律框架下全力支持。

同时明确表明，目前ASML除了EUV（极紫外线）光刻机无法对中国客户供货外，其他产品都可以正常供货。