近日,在IEEE ISSCC国际固态电路大会上,三星展示其采用3nm工艺制造的芯片,是一颗256Gb(32GB)容量的SRAM存储芯片。该芯片使用的屙屎MBCFET,面积56平方毫米,功耗低,写入电流只需0.23V。
据透露,三星路线图上,14nm、10nm、7nm、3nm都是全新工艺节点,其他则是升级改善型,包括11/8/6/5/4nm等等。三星将在3nm工艺上第一次应用GAAFET(环绕栅极场效应晶体管)技术,再次实现了晶体管结构的突破,比现在的FinFET立体晶体管又是一大飞跃。
GAAFET技术又分为两种类型,一是常规GAAFET,使用纳米线(nanowire)作为晶体管的鳍(fin),二是MBCFET(多桥通道场效应晶体管),使用的鳍更厚更宽一些,称之为纳米片(nanosheet)。