中微公司：第 1500 个 CCP 刻蚀设备反应台顺利付运2021-11-03 08:27IT之家 11 月 3 日消息，昨日，中微公司宣布，电容耦合高能等离子体（CCP）刻蚀设备第 1500 个反应台顺利付运国内一家半导体制造商。本次交付的 Primo D-RIE 刻蚀设备反应台来自该客户的重